1. 智能磨削与自动上料系统
自动化: 集成自动上料系统,减少人工干预达70%,实现24/7连续生产。
实时厚度测量(分辨率±0.005mm)
双面识别防止方向错误
自动分级(NG/OK分类),准确率高达99.8%
2. 高速精密抛光技术 (HPP技术)
超软材料:专精于加工FK51、GFK70、GFK68、S-FPL53等易碎材料,实现零崩边。
快速循环周期: 单镜片抛光周期仅需2分钟,比传统方法快3倍。
表面质量: 表面粗糙度 Ra ≤ 0.5nm (经白光干涉仪测试)。
3. 亚微米级加工能力
局部面形误差校正: 通过确定性亚孔径修正技术,实现局部面形误差 ≤ 0.1 λ (@632.8nm)。
全口径一致性: 在Ø300mm光学元件上,实现全口径面形精度 PV < λ/4。
4. 闭环计量检测系统
在线激光干涉仪: 实时监测表面形貌,RMS重复性精度达0.1nm。